石亚芬+李倩+闫英丽+刘新玉

摘 要：本文主要研究制绒采用低腐蚀量工艺对太阳能电池电性能的影响，通过严格均分的原硅片，在制绒工序调整不同的减重工艺，并配合湿法刻蚀背面抛光效果，其他工序采用相同的工艺进行生产，并通过SEM表征及反射率的测试分析研究不同腐蚀量对绒面形成的影响，结果表明，低的减重克数对制绒后绒面反射率及表面腐蚀坑均有优势。

关键词：低腐蚀量；背面抛光；电池参数；多晶硅电池

中图分类号：TM914 文献标识码：A 文章编号：1671-2064（2017）11-0068-01

1 引言

太阳能是最重要的清洁可再生能源，预计2040年太阳能总装机容量将占全球发电量的15%～20%[1]。大规模利用太阳能发电的关键是制备成本低、高效率的太阳能电池。目前国际市场上98%以上的光伏电池均为多晶硅太阳能电池[2]。普通平面硅片对太阳光具有一定的反射（400～1000nm波长范围内反射率为30%～40%），因此在太阳能电池的生产工艺中，需要在硅片表面加工出具有减反射效果的微结构（即绒面）以提高转换效率，具体效果包括：（1）对光进行多次反射，提高太阳光在硅片表面的吸收效率，增加短路电流；（2）延长光在硅片中的光程，增加对光生载流子的数量；（3）曲折的绒面可增加P-N结面积，增加对光生载流子的收集率；（4）少子寿命的延长可改善太阳能电池的长波光谱响应（红光响应）。本文主要是鉴于多晶硅片切割技术越来越进步，硅片表面损伤层越来越薄，故在电池生产过程中，制绒工序可尝试降低减重克数，减小腐蚀深度，降低表面反射率增加光的吸收，从而提升效率。……