闫青艳

【摘 要】相位延迟度的测量方法有圆偏光光强测量法、消光比测量法和椭偏仪测试法。论文采用三种测试法，对具有532nm保偏性能的反射镜相位延迟度进行对比并分析其差异来源。主要得出以下结论：从操作过程看，采用椭偏仪测试法操作简单、方便，更利于批量性产品测试；从数据结果来看，椭偏仪测试法在数据处理上考虑了系统的校正，而圆偏光光强和消光比测量法虽然有校正系统，但是在数据处理上并未将系统背景考虑进去，这是产生差异的主要原因。

【Abstract】The methods of measuring phase delay include circle polarization， light intensity measurement， extinction ratio measurement and ellipsometry test. In this paper， three methods are used to compare the phase delay of the mirror with 532nm polarization preserving property， and the difference sources are analyzed. The main conclusion as following： according to the operation process， the test method of ellipsometer with simple and convenient operation， more conducive to the bulk of the product testing； the result shows that the test method of ellipsometry in the data processing system considering the correction and circular polarized light intensity and extinction ratio measurement method although the correction system， but in the data processing system will not background into consideration， this is the main reason for the differences.

【关键词】保偏反射镜；相位； 延迟度；光学测量

【Keywords】polarization-maintaining mirror； phase； delay； optical measurement

【中图分类号】TN216 【文献标志码】A 【文章编号】1673-1069（2017）06-0155-02

1 引言

光学系统中的透镜、反射镜等元件，会在一定程度上改变入射光的偏振状态，我们把这种偏振状态的改变称为残余偏振。而这种残余偏振是光学系统中不希望出现的偏振效应，会降低光学系统的成像能力。在有些光学反射系统中，需要降低残余偏振，要求入射光的偏振状态经过反射后必须保持不变。我们将这种能够保持入射光偏振状态的反射镜称为保偏反射镜。保偏，等效于光束经过产品后不发生相位延迟，P偏振和S偏振光强度一致。本文提出了采用圆偏光光强（Rotatory Polarization Intensity， RPI）测量法、消光比（ER）测试法和椭偏仪这三种测量方法测试532nm保偏反射镜的相位延迟度，以椭偏仪法的延迟度为参考，分别比较了RPI 延迟度、ER 延迟度及椭偏仪延迟度的线性相关性和差异，并分析其差异来源。

2 测试方法

2.1 RPI测量法原理