傅宇蕾，胡 静，赵万生

（上海交通大学机械与动力工程学院，机械系统与振动国家重点实验室，上海200240）

赝火花电子束表面处理实验系统

傅宇蕾，胡 静，赵万生

（上海交通大学机械与动力工程学院，机械系统与振动国家重点实验室，上海200240）

电子束加工是特种加工中高能束加工的一个分支，赝火花电子束表面处理过程是以电子为载能粒子，入射电子束与材料作用，电子的动能转变为热能，从而使材料表面的成分、组织或结构发生改变，进而改善材料表面特性的过程。由于电子束表面处理具有能量密度大、可控性高、需在真空下进行等独有的特点，故对赝火花电子束表面处理实验系统进行设计开发具有重要的应用价值。

魇火花电子束；表明处理；系统搭建

在高精度模具及核心零部件的制造中，机械加工所产生的完整性不佳及引起的微观缺陷，从而导致寿命不理想的问题一直都是制造领域内的一大技术难题。金属表面处理作为表面精加工的最后一道工序，能有效消除材料表面微裂和残余应力等微观缺陷，改善材料的抗腐蚀性和耐磨性，提高使用寿命。因此，现代制造技术中急需一种高效率、低成本且绿色环保的表面处理技术。

日本科研机构于2003～2005年联合开发的利用大束斑电子束对模具进行高速抛光的新方法[1-3]，其基本原理是通过“极粗”电子束在极短脉冲时间内的辐照作用，降低电子束能量密度，利用降低的单位面积电能使金属浅表层部分瞬间熔化，但不影响其基体材料，电子束脉冲结束后，浅表层又迅速冷却固化，这样超快熔融和固化的交替、重复作用可使金属浅表层被非晶化（即非定型化），从而获得镜面光滑程度的金属表面[4-5]。……