张一雯*，郭昭华，王永旺，陈东

（神华准能资源综合开发有限公司研发中心，内蒙古 鄂尔多斯 010300）

【经验交流】

钼圆片电镀钌挂具的设计

张一雯*，郭昭华，王永旺，陈东

（神华准能资源综合开发有限公司研发中心，内蒙古 鄂尔多斯 010300）

针对钼圆片镀钌挂具不合理设计所产生的挂点、对电流产生遮挡以及边缘效应明显等问题，采用辅助阴极的方法加以改进，从而改善了镀层的均匀性，并通过一具多挂提高了生产效率。

钼圆片；镀钌；挂具；设计；镀层均匀性

钼具有优良的性质，如耐热、耐磨、抗腐蚀，高硬度。钼圆片一般在电气设备中电子元器件中被用作基片材料，要求有较高的导电、导热性能，较强的抗腐蚀性，以及较低的接触电阻。但是钼在空气中容易生成氧化膜，这层氧化膜阻止了钼片发挥其优良的特性。在钼圆片上通常是电镀一层与之具有相同特性的钌作为保护膜。

笔者之前报道过一种采用铬和镍作为预镀层的钼片镀钌工艺[1]。而挂具是电镀过程必不可少，挂具的结构形式直接关系到镀层厚度的均匀性以及镀槽设备的利用率，在提高生产效率、降低生产成本等方面都能起到积极的作用。目前关于钼圆片镀钌用挂具尚无公开的报道。本文总结了多次实验的经验，确定了较为合理的钼圆片镀钌用挂具的结构设计。

1 挂具材料的选择

夹钼片的导电部分采用钛合金制作，其他部位采用铝合金。挂具在槽液面以下的部位及交界面涂上绝缘胶，以减少电力的消耗及避免挂具在空气与液面交界处溶断。……