刘冬梅，夏景攀

（1.信阳高级技工学校，河南 信阳 464000；2.河南工业技师学院，河南 郑州 450007）

微机械与微细加工技术

刘冬梅1，夏景攀2

（1.信阳高级技工学校，河南 信阳 464000；2.河南工业技师学院，河南 郑州 450007）

通过对微机械和微细技工技术概念、特点，国内外发展情况以及微细加工部分工艺的描述、微机械的运用等，认识和了解国家在微细加工技术上的长处和不足，促进我国微细加工行业的发展。

微机械；微细加工；先进制造技术

微细加工技术是精密加工技术的一个分支，面向微细加工的电加工技术，激光微孔加工、水射流微细切割技术等在发展国民经济，振兴我国国防事业等方面都有非常重要的意义。这一领域的发展对未来的国民经济、科学技术等将产生巨大的影响，先进国家纷纷将之列为未来关键技术之一并扩大投资和加强基础研究与开发。

1 微机械的概念

微机械是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm～10mm的微小机械，1μm～1mm的微机械，1nm～1μm的纳米机械。

微型机械在美国常称为微型机电系统MEMS（MicroElectro Mechanical System）；在日本称为微机械（Micromachine）；欧洲则称为微系统（Micro-System）。

微型机械所具有的最明显特征是由于几何尺寸的微型化，表面积与体积之比将变大。同时他还具有内应力与应变之间不是线性关系、运动部件质量小，产生的压力很小、材料性能发生本质变化等特征。……