赵文亮， 郭 颖， 任吉达， 张 杰， 张 菁， 石建军

(东华大学 理学院，上海 201620)

常压直流脉冲辅助射频放电起辉过程研究

赵文亮， 郭 颖， 任吉达， 张 杰， 张 菁， 石建军

(东华大学 理学院，上海 201620)

采用组合电极结构产生常压等离子体射流，对直流(DC)脉冲辅助射频放电进行试验研究．在每个射频脉冲产生之前，引入一个微秒级DC脉冲放电，通过采集放电电流和电压曲线以及时间分辨放电图像，研究这种组合放电的电学特性及时空分布．结果表明，在射频放电脉冲中间引入微秒级DC脉冲放电之后，使射频放电脉冲起辉电压从3．86 kV降低到1．61 kV，提高了常压脉冲射频放电的稳定性，可为常压射频放电在工业上的连续化应用提供技术依据．

常压等离子体射流； 射频放电； 直流脉冲放电； 放电起辉

常压等离子体射流在医学、生物和材料领域都有广泛的应用[1-3]．常压等离子体射流相比于其他等离子体放电形式(电晕和火花放电)，其具有等离子体温度低、放电装置简易、化学活性强等优点[4-6]．近年来，常压等离子体射流因其成本低廉，适合对复杂形状材料进行表面处理，成为低温常压等离子体研究领域的热点之一[7-10]．

常压等离子体放电激发频率通常集中在千赫兹和兆赫兹之间[11-12]．激发频率在千赫兹范围的常压介质阻挡放电(DBD)或高压直流(DC)脉冲放电，两者均为脉冲性放电．在介质阻挡放电的情况下，由于电荷在介质表面的累积效应，每个高压脉冲期间在靠近上升沿和下降沿处分……