高 杨，黄振华，尹汐漾

（1.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621999；2.西南科技大学信息工程学院，四川绵阳621010；

3.重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室，重庆400044；4.核探测与核电子学国家重点实验室（中国科学院高能物理研究所），北京100049）

新型体声波传感器读出电路的实验验证*

高 杨1，4*，黄振华2，3，尹汐漾2

（1.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621999；2.西南科技大学信息工程学院，四川绵阳621010；

3.重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室，重庆400044；4.核探测与核电子学国家重点实验室（中国科学院高能物理研究所），北京100049）

为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性，本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器（FBAR）为待测器件（DUT），设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽（1.3 GHz～1.7 GHz）要求的PCB上微带六端口网络和检波器，配合射频信号发生器和示波器，获得了模拟DUT（50 Ω SMA匹配负载）的反射系数-频率（Γ-f）曲线测量结果。与矢量网络分析仪（VNA）的测量结果进行了对比，两者吻合较好，实验验证了“基于六端口反射计的BAW传感器读出电路”可用于FBAR谐振频率的测量。本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪（VNA-on-Chip）的设计都有借鉴意义。

BAW传感器；薄膜体声波谐振器；读出电路；六端口网络；六端口反射计；矢量网络分析仪

薄膜体声波谐振器FBAR（Thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonator）具有灵敏度高、工作频率高和功率损耗低等特点，是实现高精度和高灵敏度传感器的理想技术。……