李 青，高俊杰，李赫然，刘文泰

（1.东旭集团有限公司，石家庄 050021；2.平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室，石家庄 050035；3.北京大学 光华管理学院，北京 100871）

数字信号处理

颗粒叠加图在液晶基板玻璃工艺对策中的应用

李 青1,2，高俊杰1,2，李赫然3，刘文泰1,2

（1.东旭集团有限公司，石家庄 050021；2.平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室，石家庄 050035；3.北京大学 光华管理学院，北京 100871）

介绍了在TFT-LCD液晶基板玻璃半成品加工时容易产生颗粒的工序和设备情况，颗粒度超标时对下游LCD面板生产造成的影响。为了对策颗粒度超标的问题，在MES系统中引入了颗粒叠加图数据图形分析功能，并应成功用于实际生产线中，效果显著。

TFT-LCD；颗粒；颗粒度；MES；颗粒叠加图

0 引言

在液晶基板玻璃生产线中，需要对前段工序生产的半成品进行划线切割、边部研磨及倒角、清洗和缺陷检查等环节，最终生产出符合要求的成品，达到客户要求的基本尺寸和品质。然而在加工过程中，因为外部环境、加工工艺和设备材质等因素，会出现基板玻璃表面颗粒度超标的问题。在正常情况下，基板玻璃的整版颗粒数控制在100个以下，即大、中、小颗粒数的总和，如果颗粒度超标，会在LCD面板生产过程中产生膜破、黑缺及亮度不均等缺陷。所以，要对颗粒度进行实时监控预警，及时发现颗粒度异常情况并对策处理，降低颗粒度，提高良品率，降低生产成本。

查看基板玻璃的颗粒情况，需要在颗粒检查机的客户端计算机上通过专用……