魏存露，花国然，王强

(1.南通大学机械工程学院，江苏南通 226019； 2.南通大学电子信息学院，江苏南通 226019)

POM匀胶托盘的优化设计*

魏存露1，花国然1，王强2

(1.南通大学机械工程学院，江苏南通 226019； 2.南通大学电子信息学院，江苏南通 226019)

以广泛应用于旋涂功能薄膜工艺中的聚甲醛(POM)匀胶托盘为研究对象，基于数值仿真及实验研究，对现有POM托盘工作中的缺陷进行了分析，结果表明，螺旋托盘基片因发生翘曲形变而易使胶体渗入匀胶机，腔式托盘基片形变量过大。基于分析结果，对现有匀胶托盘进行了优化，提出一种腔式花洒型托盘，其通过过盈配合，在腔式托盘上装配花洒型端盖，数值模拟结果表明，腔式花洒型托盘在保持腔式托盘阻胶结构的基础上，基片最大形变量为2.7 μm，与螺旋托盘相比降低了3.9 μm左右，且基片边缘处的翘曲形变较小，为0.17 μm左右；借助3D打印技术，对优化的托盘进行快速成型制造，并进行了实验分析，实验结果表明，基片形变测量值与数值模拟值变化规律吻合，相同位置的形变值误差最大为9.8%左右，说明仿真结果可靠。

功能薄膜；聚甲醛匀胶托盘；优化设计；数值模拟；快速成型

功能薄膜作为发展信息技术、生物技术以及国防建设重要的表面材料及器件，其制备方法有很多，如喷涂法、电沉积法以及旋涂法等[1]，其中旋涂法凭借其薄膜厚度可控、设备结构简单、易于操作以及优良的性价比而广泛应用于微电子技术、生物学以及医学等领域[2]；作为旋涂法……