北京信息科技大学 信息获取与检测实验室，北京 100101

一、引言

倾角传感器是测量关于水平面倾斜角的装置，在航空航天、土木建筑、水文地质、电子等领域有着广泛的应用。随着科技的进步，生产技术水平不断的提高，对倾角传感器的体积、精度的要求也在不断的提高，各种结构、拓扑也应运而生[1]。倾角传感器的形式也由早期的“固体摆”、“液体摆”、“气体摆”，发展成为以线加速度计为核心部件的角度测量装置[2]。石英挠性加速度计就是线加速度计的一种，本文的研究也正是基于石英挠性加速度计的倾角传感器来完成的。

由于石英挠性加速度计具有体积小、精度高、工作温度范围宽、温漂小等优点，而被广泛的应用于航天、航空、军事等领域。但这些领域的工作环境恶劣，尤其在温度方面表现尤为突出，而石英挠性加速度计也存在温漂。以往的温度补偿已经补偿了不同温度的情况，但是补偿过程都是经过恒温之后补偿。如果外界环境温度变化较快，那么倾角传感器测量的准确性就会受到影响。

为了解决外界温度快速变化时，倾角传感器测量不准的问题，本文深度剖析外界环境温度变化对倾角传感器的测量精度的影响，找出外界温度与倾角传感器内部实际温度之间的热量传递规律，建立数据处理和温度补偿两种算法模型，根据热量推算出内部倾角传感器的实际温度，最后用实际温度进行温度补偿。从而进一步提高测量的精度，有效应对外界温度的突变，大大增加了倾角传感器的社会效益和经济效益。……