张亚斌，张洪彬，闫 云，刘晓林，龙庆云

(中国船舶重工集团公司 第七一八研究所，河北 邯郸 056027)



·分析与测试·

PDHID分析超高纯甲烷中微量杂质成分

张亚斌，张洪彬，闫 云，刘晓林，龙庆云

(中国船舶重工集团公司 第七一八研究所，河北 邯郸 056027)

应用PDHID气相色谱法, 采用切割、放空等技术，一次性测定了高纯甲烷深度纯化后杂质含量。以外标法定值各微量杂质组分含量。重点讨论微量C2H6、C3H8的分离及检测问题。

PDHID ；切割；放空；超高纯甲烷 ；分析

0 引 言

高纯甲烷产品在化工、冶金、电子、石油等工业部门和科研、航空、原子能等领域应用广泛。作为重要化工原料，可用于生产乙烃、氢气、合成氨、炭黑、甲基化合物、二硫化碳、氢氰酸等。作为特种气体，可用作标准气、校正气、催化剂的评价气、配制某些特种混合气，以及用于某些机理的研究。例如，用作标准气中的组分气体、计数管充填气、金属表面渗碳和碳膜淀积、甲烷物性和热力学性质的研究，以及近些年热门的航天级别推进剂、非晶硅太阳能电池的生产。此外，作为电子气体，可用作大规模集成电路薄膜淀积、外延、干法刻蚀(或等离子刻蚀气)的辅助添加气。一般而言，超高纯甲烷指纯度大于6N的甲烷，然而，国内目前并没有6N及以上的超高纯甲烷的生产能力。随着电子工业等特殊领域不断发展，甲烷纯度要求也在不断的提升，6N及以上超高纯甲烷的研制与分析具有重大意义。

标准HG/T 3633—1999[1]、冯庆祥[2]、胡树国[3]、李春瑛[4]、熊德全[5]、刘晓红[6]等提到纯甲烷中杂质的分析方法。……