王婧娜 刘志伟 严 蕊 张 婷 苏 锦 胡 岚

(西安近代化学研究所,西安 710065)

基于质量流量控制器的高精密配气系统

王婧娜 刘志伟 严 蕊 张 婷 苏 锦 胡 岚

(西安近代化学研究所,西安 710065)

针对市售标气很难满足实际应用需求的问题，基于质量流量控制器的控制原理，研制一套高精密动态可持续输出的配气系统。给出系统的总体结构及其工作原理，并利用电化学传感器和统计学原理，对该系统的稳定性和准确度进行了考察，结果表明：在30min的考察期内，配气浓度标准偏差小于0.40%，在95%的置信区间内与电化学传感器测定值的准确度相当。

配气系统 质量流量控制器 混合标准气 高精密

利用检测仪器进行气体产物测定时，多用到气相色谱法或电化学传感器法等，这些方法均需要用标准气体对检测仪器进行校准，甚至气相色谱外标法中还需要依赖标准气体进行定量分析。目前，众多科研人员致力于标准气体的研制和生产，但多为单一浓度的标准气体，而在含能材料行业实际应用中常需要用到不同浓度的混合标气[1～3]，市售标气很难满足这一需求，因此急需研制一套便捷、可准确配置不同浓度混合标气的装置。目前，配制低浓度标准气体的方法主要有静态配气法和动态配气法[4]。前者主要用于配置化学浓度高、性质稳定的标准气体；后者主要有动态注射法[5]、渗透管法及扩散管法等，用于配置化学性质活泼、浓度较低的标准气体。

在此，笔者基于质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)控制原理，设计了一套动态高精密稀释配气装置，以达到便捷、准确配制所需标准气体的目的，满足不同行业、不同工况对不同浓度混合标气的使用需求。……