李名鸿， 刘勇,,*， 郭春生， 王明宇， 牛静然

1.山东大学 力学与机电装备联合工程技术研究中心， 威海 264209 2.山东大学 高效洁净机械制造教育部重点实验室， 济南 250061

高回转精度微柱状电极电化学加工模型及试验

李名鸿1， 刘勇1,2,*， 郭春生1， 王明宇2， 牛静然1

1.山东大学 力学与机电装备联合工程技术研究中心， 威海 264209 2.山东大学 高效洁净机械制造教育部重点实验室， 济南 250061

为实现高回转精度微柱状电极的精确高效在线制备，对微电极电化学刻蚀过程进行了深入的研究与改进。首先，根据电化学刻蚀原理，分析了电极旋转对柱状电极加工的影响，试验证明电极旋转可以提高电极的回转精度；其次，根据试验归纳，确立了加工电压、浸液深度和电极转速之间的函数关系，建立了高回转精度微柱状电极加工控制数学模型；最后，在上述模型的指导下，选择优化的加工参数组合，成功加工得到一系列直径为100 μm左右、同轴度误差小于1 μm 的柱状电极。

高回转精度； 微柱状电极； 电化学刻蚀； 电极旋转； 数学模型

随着科学技术和微机电系统的发展，微细电极在三维结构测量、细胞手术和微细加工领域具有非常大的应用前景[1]。尤其在微细电火花加工和微细电解加工领域，微电极作为加工工具，以实现微尺寸精密零部件的加工，这些微细精密零部件已广泛应用在航空航天领域中。在种类众多的微电极中，微柱状电极由于控制简单、准确，使用稳定性高，具有较大的实际使用价值。……