陈 泽，胡明勇，赵 奇，范二荣



凸二次曲面的工艺球面补偿检测

陈 泽1,2，胡明勇3，赵 奇3，范二荣3

( 1. 中国科学院南京天文仪器研制中心，南京210042；2. 中国科学院大学，北京100049；3. 合肥工业大学光电技术研究院，合肥 230009 )

在非球面的检测中，工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性，本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据，推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件，并采用有限距离正面补偿检测的方法，对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定，所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测，而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度PV=0.159 8优于/6(=632.8 nm)，满足技术指标。

光学检测；瑞利判据；凸二次曲面；像差理论

0 引 言

目前，非球面镜的检测主要分为接触式检测和非接触式检测两大类。接触式检测中最常见的就是轮廓仪测量方法[1]。1856年，Fu Ke Lewin发明了刀口仪[2]。20世纪70年代，数字干涉仪的问世。这都使得在加工或是最终检测过程中非接触式的检测成为可能。非球面镜的光学检测方法直接决定了非球面镜的加工精度与加工效率。非球面镜的检测中，凸非球面的检测比凹非球面的检测更加复杂，主要是因为其需要有一束至少同等口径的会聚光束[3]才能够实现。在20世纪70年代Wyant等提出了计算全息图(Computer Generated Hologram，CGH)检测方法[4]，至今CGH检测方法得到了长足的发展，这对于凸非球面镜的检测具有划时代意义。……