张浩,董丽芳，王浩，高星

(河北大学 物理科学与技术学院，河北 保定　071002)



等离子体表面处理装置

张浩,董丽芳，王浩，高星

(河北大学 物理科学与技术学院，河北 保定071002)

设计了一种利用介质阻挡放电产生等离子体对材料表面进行处理的新型表面处理装置.此装置采用交流高压驱动，在每个电压半周期内放电次数达到4次甚至更多次，能够产生大量的等离子体.此装置产生的等离子体距离待处理材料近，对等离子体具有较高的利用率，在工业应用方面具有较高的应用前景.

介质阻挡放电;等离子体;表面处理

随着高性能结构材料技术和先进材料加工技术的快速发展，人们对材料的韧性或刚性、环保性、循环利用性和使用寿命等提出了更高的要求.因此通过对材料表面处理[1-4]改变材料表面的形态、化学成分、组织结构等以提高材料各方面性能在近年来得到了迅速发展.在物理处理、化学处理和机械处理等众多表面处理方法中，等离子体表面处理技术因其清洁高效、能耗低、无废弃物等优点而快速发展.目前，针对不同的产业应用，不同条件下的等离子体处理已经出现明显分工，如常压等离子体一般应用于需要连续处理的大面积天然或合成材料，低压等离子体一般应用于半导体产业，生物医用材料等产业.

本文主要阐述了一种利用低压等离子体对材料进行表面处理的装置.此介质阻挡放电[5-9]装置能够产生大量的等离子体……