朱岩，田伟，方斌，武东城

（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春　130033）

高面形精度标准镜自重变形的补偿技术

朱岩，田伟，方斌，武东城

（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春130033）

为了提高光学检测精度，完善标准镜装配工艺，针对采用胶粘法装配的镜片提出了两种补偿镜片自重变形的方法，即通过改变胶层位置补偿镜片自重变形的方法和通过施加作用力改变镜框形变量补偿镜片自重变形的方法。通过理论计算、建模仿真与光学检测的手段验证不同工况下自重变形对于面形精度的影响。给出了镜片面形与胶层位置、作用力的对应关系，镜片经过补偿可以达到很高的面形精度，明显优于普通胶粘法，实验对象在补偿前的面形精度为4.511nm，补偿后面形精度达到2.134nm，保证了标准镜的高面形精度。

自重变形；补偿；胶粘；参考面面形；仿真优化

随着光学加工和制造技术的发展以及科学研究和装备制造的需要，精密仪器核心器件要求实现更多功能的同时体积在不断缩小，电路刻线分辨率往往在纳米级甚至亚纳米级。刻线的分辨率主要取决于光刻物镜的光学性能，实现如此高的光刻分辨率，光刻投影物镜的光学元件面形精度必须达到纳米量级［1］。

在纳米量级的光学元件检测中，干涉仪是必不可少的测量仪器，而标准镜作为干涉仪配套的光学参考面，其面……