刘兆武，李文昊，王敬开，姜　珊，宋　莹，潘明忠，巴音贺希格*

(1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033；2.中国科学院大学，北京 101408；3.北京航空航天大学，北京 100191)



纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测

刘兆武1，2，李文昊1，王敬开3，姜珊1，宋莹1，潘明忠1，巴音贺希格1*

(1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033；2.中国科学院大学，北京 101408；3.北京航空航天大学，北京 100191)

针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响，提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理，分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构，得到两组工作台测量镜面形的原始数据，通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差，得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证，并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比，结果显示其差异在±10 nm之间，且趋势有较好的一致性。 得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。

激光干涉仪；纳米二维工作台；测量镜；面形误差；在线检测

1　引　言

二维工作台在精密工程领域的应用越来越广泛[1-3]。目前，纳米精度二维工作台通常采用双频激光干涉仪定位系统[4-6]。……