张 荣,王 珏,周继昆,张 毅,郑 敏

(中国工程物理研究院总体工程研究所，四川 绵阳 621900)

精密离心机动态半径的定位测量技术研究

张 荣,王 珏,周继昆,张 毅,郑 敏

(中国工程物理研究院总体工程研究所，四川 绵阳 621900)

精密离心机动态半径是影响精密离心机输出加速度精度的主要参数；对于高精度精密离心机的研制，必须对动态半径进行精密测量，并将测量结果作为补偿分量加入到精密离心机输出加速度修正数学模型中，以获得精确的加速度信号，同时为精密离心机输出加速度的精确评定奠定基础；文章介绍了精密离心机动态半径的外基准定位测试技术，包括多个定位平台的定位测试技术论证、测试系统配置等；该方法已应用于某高精度精密离心机动态半径测量中，实测结果表明，采用这种测量方法，动态半径的测量标准差为σ=0.21 μm，其测量精度满足高精度精密离心机研制的技术指标要求。

精密离心机；动态半径；定位测量；外基准

0 引言

精密离心机动态半径是精密离心机的关键参数，在10—6以上量级精密离心机研制中，需精确测量离心机动态半径，并将动态半径加入精密离心机输出加速度数学模型[1]中，以得到高精度的加速度信号输出。在10—6量级精密离心机研制中，精密离心机动态半径ΔR测量标准不确定度达0.3～0.6 μm，高精度测试指标对测试技术要求很高，本文在调研国内外动态半径测试技术基础上，提出利用外基准定位测试技术，采用电容测微仪和变采样率测试法，实现高精度精密离心机上四个定位平台的动态半径精确测量，达到了项目要求的半径测试精度技术指标。……