李　岳，韩　宾，邓冬梅，权恩猛

西南科技大学信息工程学院，四川绵阳　621010

虚拟仪器技术在半导体测试中的应用研究

李岳，韩宾，邓冬梅，权恩猛

西南科技大学信息工程学院，四川绵阳621010

随着半导体产业的飞速发展和半导体产品性能的不断提升，对相应的半导体测试方法提出了更高的要求，为了应对半导体产业飞速发展对半导体测试带来的挑战，本文介绍了半导体测试的特点以及国内半导体测试服务的不足，比较了虚拟仪器与传统仪器的差别，探究了虚拟仪器技术应用于半导体测试领域的关键技术，提出了一种将虚拟仪器技术的优势应用在半导体测试系统当中的测试方法，使得对半导体产品的测试速度更快、准确度更高。

虚拟仪器；LabVIEW；半导体测试；传统仪器

半导体测试伴随着半导体产品从研发设计到生成加工的整个过程，其测试内容涉及Wafer测试、电气测试、良品率测试、封装测试、FT测试等，其测试结果直接关系到半导体产品的性能和半导体企业的成本，因此半导体测试是半导体产业链中非常重要的组成部分。

同时，半导体产业的飞速发展和半导体产品性能的不断提升对相应的半导体测试方法提出了更高的要求，其测试系统需要不断地升级和改进，其测试人员需要推出新的测试方案或开发升级补丁。由于虚拟仪器技术在测试领域的强大优势，将其扩展性强、软硬件无缝集成、性能强的特点与半导体测试系统相结合将会具有广泛的应用前景，本文提出了一种将虚拟仪器技术的优势应用在半导体测试系统当中的测试方法。……