高天龙，孙　玮，牛永进

(中昊光明化工研究设计院有限公司，辽宁 大连 116031)



·特气制备·

高纯一氧化二氮的制备

高天龙，孙玮，牛永进

(中昊光明化工研究设计院有限公司，辽宁 大连 116031)

建立一套多单元集成式深度纯化工艺装置。以医药级一氧化二氮为原料，利用高压常温吸附和低温冷凝抽空相结合的方法，深度脱除一氧化二氮中的各种杂质，制备得到纯度为99.999%的高纯一氧化二氮产品。

一氧化二氮；吸附；压力；吸附剂

0　引　言

一氧化二氮(N2O)俗称笑气，广泛应用在医用麻醉剂，食品悬浮剂，制药,化妆品等领域[1]。随着我国半导体集成电路产业的快速发展，对高纯气体品种的要求越来越多，高纯N2O作为电子气体，主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键电子气体。高纯N2O在化学气相沉积(CVD)工艺中，可用于制备掺杂SiO2膜，在某些条件下可代替高纯NH3用来生产氮化硅掩蔽膜。高质量SiO2膜对N2O的纯度提出了更高的要求，其纯度直接影响到SiO2膜的纯度并会进一步影响器件的相应特性和长期可靠性。因此，为保证光电器件产品的质量和可靠性，要求N2O纯度需在99.999%(5N)以上[2-4]。目前N2O的制备工艺主要有硝酸铵干法分解、硝酸铵湿法分解、盐类反应及尿素法等[1]，但直接制备得到的N2O产品往往不能满足高纯度(5N)的要求。本文以医药级N2O为原料，通过高压常温吸附和低温下冷凝抽空相结合的工艺方法，深度脱除N2O中的各种杂质，制备得到5N级的高纯N2O产品。……