蔡阿宁（西安空间电子信息技术研究院，西安　710000）

低温泵系统的故障分析与排除

蔡阿宁
（西安空间电子信息技术研究院，西安710000）

低温泵主要用于核工业、航空、航天工业，尤其在载人航天、运载火箭、大型加速器、空间有效载荷等重大科技工程中得到广泛的应用，提供所需的真空环境。在长期使用低温泵的过程中，认真总结低温泵在使用过程中出现的故障，并分析加以排除。对低温泵在运行中的故障分析和排除以及设备的维护提供参考。

低温泵系统；故障；原因；排除

0　引言

低温泵是采用低温介质将抽气面冷却到20 K以下，低温抽气面就能大量冷凝气体分子，形成很大的抽气作用。低温泵广泛的应用于核工业、电子工业、航空航天工业，尤其在载人航天、运载火箭、大型加速器、空间有效载荷等重大科技工程中得到应用，提供所需的真空环境。低温泵的优点是抽速大，对被抽气体没有选择性，极限真空度可达10-13Pa，从而获得清洁的超高真空环境。在长期使用低温泵的过程中，认真总结低温泵在使用过程中出现的故障，并分析加以排除。为低温泵获得清洁超高真空环境的实验设备出现故障和排除故障时提供参考。

1　低温泵的结构与工作原理

低温泵系统主要包括低温泵、氦气压缩机、氦气管路和电源电路等部分组成［1］。低温泵的工作原理是通过低温表面把真空室气体分子冷凝、吸附和捕集气体分子，从而达到抽真空的目的。是由制冷机及冷凝低温泵腔体、粗抽阀门、排气阀门、吹气阀门、温度传感器和再生加热器组成，如图1所示。……