李　业,张大伟,王　琦,戴　博（1.上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093；2.上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093；3.上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海 200093）

亚波长导模共振滤波器的研究概况

李业,张大伟,王琦,戴博
（1.上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093；2.上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093；3.上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海 200093）

基于导模共振效应的亚波长滤波器具有高峰值效率、宽窄带以及低旁带等特点,是一种性能优良的滤波器结构。简要介绍了导模共振滤波器的基本理论、分析方法和一维双层亚波长光栅结构,从可调谐、多通道以及彩色滤光三个应用方面总结了导模共振器件的研究进展,并分析了关键技术和技术难点。阐述了该器件的重要研究意义和应用价值。

导模共振；滤波器；亚波长；多通道

引 言

导模共振滤波器件在理论研究与实际运用中都具有重要意义,通常表现为介质光栅的反射异常,即指当入射波的波长、入射角等入射条件或光栅结构参数作微小变化时光栅衍射传播能量发生剧烈变化的现象。1902年,Wood等在研究金属反射光栅时,首次从实验上发现了这种导模共振效应的异常现象［1］,具体的理论解释则是由Magnusson等在1992年提出,并运用到滤波器的设计中［2-3］。

亚波长导模共振滤波器相较于传统的滤波器件,具有高峰值效率、宽窄带以及低旁带等特点,是一种性能优良的滤波器结构,同时该结构对入射光的特性以及本身的物理结构参数都非常灵敏,利用这个特性能够使其应用于生物样品等高灵敏度大通量检测领域中。……