巨孔亮　胥光申　邱荣华　罗　声

(西安工程大学机电工程学院, 陕西 西安 710048)



用面曝光快速成形系统制作细微结构*

陕西省教育厅产业化培育项目(2011JG17)；陕西省工业科技攻关项目(2015GY070)；陕西省教育厅专项科研计划资助项目(15JK1309)

巨孔亮胥光申邱荣华罗声

(西安工程大学机电工程学院, 陕西 西安 710048)

为了证明面曝光快速成形系统具备制作细微结构的能力，利用自主开发的快速成形系统，制作出了壁厚为0.039 mm的蜂窝状单壁结构和槽宽为0.17 mm的狭缝结构。试验结果表明，该成形系统有较高的制作分辨率，具有制作细微结构的能力。

面曝光；快速成形；制作；细微结构

微细快速成形技术是在传统SL技术基础之上，针对制作细微结构零件而开发的一种新型快速成形技术，它能够快速地制造出具有复杂内腔或自由曲面的微小零件。同时，微细快速成形技术可将传统SL成形精度提高到微米尺度，开拓了快速成形技术在组织工程领域的微型化应用[1]。

随着微型机械与产品商业化的迅速发展，小型化已成为工业产品的必然趋势，其主要结构零件的尺寸位于微尺寸与宏尺寸之间[2],具有细微的结构特征(一般小于0.05 mm)。为了使成形零件的尺寸满足微米尺度(0.1～1μm)与中间尺度(0.01～10 mm)的制造技术要求，国内外许多学者做了大量的研究，其中，X. Zhang等通过将扫描平面上的激光束光斑的直径聚焦至微米尺度，提高了零件的制作分辨率，进而制作细微结构[3-4]；同时，Peter G，X. Zhang[5]等通过μSL成形工艺，可以制作出壁厚为10 μm的单壁蜂窝状结构；……