唐海容， 许 斌， 赵世平

(四川大学 制造科学与工程学院，四川 成都 610065)

微球探针激光快速加工成形系统设计*

唐海容， 许 斌， 赵世平

(四川大学 制造科学与工程学院，四川 成都 610065)

为了方便快捷地制备微球探针，设计了一种微球探针激光快速加工成形系统。该系统主要由激光光源、激光控制器、光束调整组件、机械定位组件四个部分构成。通过该系统对微球探针进行加工实验，得到了尖端无明显缺陷且具有较好球形质量的微球探针，实验表明：该激光快速加工成形系统能够满足微球探针快速成形的制备要求。

加工系统； CO2激光； 微加工； 微球探针

0 引 言

微孔、沟槽等微结构几何特征的测量是当前微测量领域的研究热点。微球探针作为微型测量仪器中一个重要的接触定位元件，其市场需求日益增长[1]。但是，微球探针的制备操作流程复杂耗时，而且探针尖端容易吸附灰尘等杂质，不适宜长期存放，需要现用现制，因此，研制操作简单、快速的成形加工装置是解决当前球形尖端探针制备问题的重要途径。国内外学者已经做出了诸多探索：Fan K C[2,3]、赵健[4]、余慧娟等[5]学者利用商用光纤电弧熔接机的清洁功能制得球形探针。其加工系统主要由商用光纤电弧熔接机和外加的水平旋转机构构成，受熔接机系统配置影响，加工工艺参数调节范围有限，不能依据实验特殊需求灵活调节。为提高加工装置的可调节性，Wang Z W[6],Ji H[7],李勇等[8]学者根据放电电弧加工原理自行搭建了球形探针加工原型系统，并进行了球形探针的试制，但该加工原型系统的加工参数和加工精度有待进一步研究。……