王朝丽，李盈海，桑增亮（南京天华化学工程有限公司，江苏　南京　211178）

新型浆料干燥机在冷氢化溶剂回收中的应用

王朝丽，李盈海，桑增亮
（南京天华化学工程有限公司，江苏南京211178）

近年来太阳能光伏产业发展迅速，冷氢化溶剂的回收利用成为可持续发展的必经之路。介绍一种采用新型浆料干燥机回收多晶硅生产中的冷氢化溶剂的方法以及在设计过程中需要注意的问题。

浆料干燥机；冷氢化溶剂；回收；应用

0　引言

多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基石。目前多晶硅生产采用的主要工艺是改良西门子法—闭环式SiHCl3氢还原法。改良西门子法的生产流程是利用氯气和氢气合成HCl，HCl和工业硅粉在一定的温度下合成SiHCl3，然后对SiHCl3进行分离精馏提纯，提纯后的SiHCl3在氢还原炉内进行化学气相沉积反应得到高纯多晶硅［1］。在生产中会产生三废，对生产企业带来很大的挑战。

早期西门子法生产过程中会产生大量的四氯化硅、氢气和氯化氢，不能对这些副产物进行有效利用，而改良西门子法在第二代的基础上增加了尾气干法回收系统和四氯化硅氢化工艺，完全实现了闭环生产［2］。

四氯化硅是改良西门子法中的主要副产物，连同其他形式氯硅烷以及其他污染物，共同组成硅渣浆料。为了使氢化溶剂（二氯氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等）重复利用，并减少对环境的污染，采用对硅渣浆料冷凝后再回收其中的冷氢化溶剂。……