吴文泽，付一飞，凌春雷，庄发委，梁柱荣，徐得华，徐雪青†（1. 中国科学院广州能源研究所，广州 510640；2. 中国科学院可再生能源重点实验室，广州 510640；3. 广东省新能源和可再生能源研究开发与应用重点实验室，广州 510640；4. 华南农业大学材料与能源学院，广州 510642；5. 中国科学院大学，北京 100049）

红外灯辅助喷雾热解法制备可控锑掺杂氧化锡透明热反射薄膜*

吴文泽1，2，3，4，付一飞1，2，3，4，凌春雷1，2，3，4，庄发委1，2，3，4，梁柱荣1，2，3，5，徐得华1，2，3，徐雪青1，2，3，5†
（1. 中国科学院广州能源研究所，广州 510640；2. 中国科学院可再生能源重点实验室，广州 510640；3. 广东省新能源和可再生能源研究开发与应用重点实验室，广州 510640；4. 华南农业大学材料与能源学院，广州 510642；5. 中国科学院大学，北京 100049）

本文以乙二醇为溶剂及配位剂，以冰乙酸为酸性催化剂，采用溶胶-凝胶法制备均一稳定的具有不同锑掺杂浓度的二氧化锡（SnO2）溶胶，再通过红外灯辅助喷雾热解法制备性能优异的可控锑掺杂SnO2薄膜，并对薄膜微结构、光电性能进行表征。结果表明：薄膜以四方金红石结构存在，结晶完全；方阻值随锑掺杂浓度和成膜厚度的增加而降低；薄膜在可见光区的平均透过率可达 79%左右，且在中远红外光区的平均反射率可达 80%左右。此外，通过改变锑掺杂浓度和成膜厚度，能够有效地调节薄膜的红外反射率与反射起点波长，从而满足不同气候条件对热反射和热发射的不同要求。

锑掺杂SnO2薄膜；溶胶-凝胶法；红外灯辅助喷雾热解法；热反射薄膜

0　 引 言

近几年来，锑掺杂氧化锡（antimony-doped tin oxide， ATO）薄膜作为一种重要的透明导电薄膜受到人们的广泛重视，其具有莫氏硬度高、可见光透过率高、电阻率低、化学稳定性好以及热稳定性好［1-2］等特点，目前已广泛应用于液晶显示器、太阳能电池等领域。……