杨清华，王焕平，卫国英，徐时清

（中国计量大学材料科学与工程学院材料分析测试中心，浙江 杭州 310018）

NaYF4纳米粉体扫描电镜观测参数探讨

杨清华，王焕平，卫国英，徐时清

（中国计量大学材料科学与工程学院材料分析测试中心，浙江 杭州 310018）

合适的加速电压和工作距离对准确观察纳米粉体的形貌和粒径尺寸具有重要影响。以NaYF4纳米粉体为研究对象，探讨加速电压与工作距离的匹配性以及不同加速电压对电镜成像的影响。通过对比相同加速电压、不同工作距离下观察得到的电镜图片，得出只有当加速电压与特定的工作距离匹配时才能得到清晰度高的电镜图片，具体加速电压与工作距离的匹配值如下：1kV（4mm），5kV（4mm），10kV（8mm），15kV（12mm），20kV（15mm），25kV（20mm），30kV（25mm）。在合适的工作距离下，通过对比不同加速电压观察得到的电镜图片，得出随着加速电压的增加，电镜图片的清晰度呈现出先增强后减弱的趋势，当加速电压为20kV时得到清晰度最佳的电镜图片。

场发射扫描电镜；NaYF4纳米粉体；加速电压；工作距离

0　引　言

材料的性能与其微观结构（表面形貌、晶界、粒径、缺陷等）关系密切，准确表征材料的微观结构是研究其构效关系的前提。场发射扫描电子显微镜是观察材料微观结构的主要仪器之一［1-2］，但其应用于不导电纳米粉体的观察时，由于强烈的“荷电”现象［3-4］，会影响样品的微观形貌观察。因此，如何有效地降低“荷电”的影响，是电镜观察不导电纳米粉体所需解决的关键问题。

在电镜测试过程中，影响样品荷电现象的主要因素有制样技巧和参数设置（加速电压、照射电流、工作距离、信号模式及Capture模式等）。……