苏俊宏，牛燕敏

(西安工业大学 光电工程学院，西安 710021)



轮盘式程控多波长激光能量衰减器的研制*

苏俊宏，牛燕敏

(西安工业大学 光电工程学院，西安 710021)

摘要：针对常用的衰减系统仅能实现一种波长的衰减，设计了一种可实现多波长衰减的程控衰减方法.采用中性密度滤光片作为衰减系统的衰减单元，衰减盘之间通过级联实现宽范围衰减，整个衰减过程通过程序控制及相关算法精确查找，使其具有快速、精确的衰减.使用532 nm和1 064 nm Nd∶YAG激光器进行试验验证.实验结果表明：该衰减器可实现对不同波长的衰减，衰减范围宽,且具有可靠的稳定性和可重复性.与传统的衰减器相比，它解决了衰减波长单一,能量变化动态范围小,线性度不好以及重复性不高等问题，具有结构简单，成本低等优点.

关键词：Nd∶YAG激光器；中性密度滤光片；能量衰减；多波长

随着科技的不断创新发展，衰减器作为高功率激光系统中必不可少的测试仪器之一，测试系统对其要求也越来越高.目前，常见的衰减器件有光楔、光栅和吸收性衰减片等.光衰减器要求重量轻、体积小、精度高、稳定性好和使用方便等.理想的光衰减器应只改变入射光束的振幅,不影响其几何特性(束宽、发散角等)、位相、光谱分布、偏振态和时间特性，还应具有动态范围广、光谱区域宽和复现性好等特点，其光学和机械结构越简单越好[1].衰减器主要要求是插入损耗低、回波损耗高、分辨率线性度和重复性好……