戚子文，刘炳国，张仲海，卢丙辉，刘国栋

(哈尔滨工业大学 电气工程及自动化学院，黑龙江 哈尔滨 150001)



双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较

戚子文，刘炳国，张仲海，卢丙辉，刘国栋*

(哈尔滨工业大学 电气工程及自动化学院，黑龙江 哈尔滨 150001)

摘要：双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法的影响，首先给出相位缺陷检测的系统结构和理论模型，在此基础上，针对测量过程中主要存在的一次移相误差、二次移相误差、光强误差和随机振动误差，研究了Hariharan 5帧移相算法、13帧移相算法和迭代随机移相算法的解相误差，并进行了仿真分析。结果表明，针对这几种误差源，13帧算法解相精度整体优于5帧法，迭代随机移相算法解相效果优于13帧法和5帧法，当这几种误差按实际指标同时作用时，迭代随机移相算法解相误差RMS小于5帧法和13帧法，PV值稳定在0.5 nm以内。由于随机振动占主要作用，说明迭代随机移相算法受误差影响很小。

关键词:位相缺陷；双点干涉；相位提取算法；误差分析

1引言

惯性约束聚变(ICF)采用球形内爆增压技术，以高功率、高能量密度的激光轰击球形靶丸，使靶丸内的氘氚燃料达到点火条件，从而形成自持的热核反应，它被认为是解决未来能源危机最有前景的方案[1]。系统装置中包含很多大口径光学元件，位相缺陷是其常见的缺陷之一，其振幅透过率均匀，会对光的相位进行调制，无法被传统的光学元件探测。……