朱　清　张哲娟　孙　卓　才　滨　蔡雯君（华东师范大学物理与材料科学学院，纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心，上海　200062）



丝网印刷法制备纳米银线透明导电薄膜

朱清张哲娟＊孙卓才滨蔡雯君
（华东师范大学物理与材料科学学院，纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心，上海200062）

摘要：以高纯纳米银线作为导电介质，采用低成本丝网印刷法在普通透明玻璃基底上制备纳米银线薄膜层。经低温退火处理后，采用冷场发射扫描电子显微镜对薄膜的形貌进行表征；分别采用紫外可见分光光度计和四探针测试仪对薄膜的光学透过率和导电性能进行测试。实验系统研究了印刷浆料中纳米银线的含量、印刷层数和退火温度对薄膜的光学透过率和导电性能的影响。当印刷浆料中纳米银线的含量为3%（w/w），印刷层数达到3层，经低温275℃退火后，可制备出光电性能良好的纳米银线薄膜，该薄膜最大可见光透过率为39.4%，表面方块电阻仅为25.6 Ω·□-1。

关键词：纳米银线；丝网印刷；透明导电薄膜

0　前言

透明导电薄膜是一种将光学透明性能和导电性能结合在一起的复合光电材料［1］。无机物类透明导电薄膜大体可以分为金属膜、氧化物膜和其他化合物薄膜，其中以氧化物薄膜占主导地位［2］。目前，氧化物透明导电材料体系包括ITO、AZO和FTO等［3］，其中ITO是目前综合光电性能优异且应用最为广泛的一种透明导电氧化物薄膜［4］。但是，属于氧化物系列的ITO薄膜一方面其热稳定性……