王峥一+武伟璐+牛邦玉

摘 要：介绍了微透镜及其阵列的产生与发展，分析和比较了微透镜的制备方法。此外，结合微透镜的光学性质简述了微透镜的应用，并展望了微透镜的应用前景。

关键词：微透镜；阵列；光学元件；微光学

中图分类号：TH74 文献标识码：A DOI：10.15913/j.cnki.kjycx.2016.11.102

文章编号：2095-6835（2016）11-0102-02

随着近代科技的不断创新和突破，当前的机械、设备、元件都已朝着光机电一体化的趋势发展，人类已经悄然进入微型时代。从重达27 t的世界上第一台电子计算机的诞生，到如今纳米级的元器件，仅不到百年的时间。人类利用大自然的恩赐不断地创新与传承，促进着文明的进步和科技的发展。早在一千多年前，人们把透明水晶或宝石磨成透镜用于放大影像，制作出了最早的透镜。而如今，科学家们模仿苍蝇的复眼，创造出了只有用显微镜才能观察到的透镜。这便是微透镜和微透镜阵列。

1 微透镜及其阵列的产生与发展

1.1 微透镜及其阵列的产生

在20世纪70年代，细微加工技术的应用促使微电子学诞生。微电子学的诞生使电路实现了微型化。但大部分功能器件仍是常规尺寸。于是，在20世纪80年代初期，首先出现了微机械和微电器。为了与这些微型元器件匹配，光学也必须进入微型化时代。因此，在20世纪80年代中后期便出现了微光学。

1970年，美国康宁公司3名科研人员采用改进型化学气相沉积工艺和高温拉丝技术，成功地制作出芯径只有几十微米且传输损耗只有20 Db/km的低损耗石英光纤，开创了微小光学的新篇章。……