刘志亮， 姜国光

(1.北京动力机械研究所,北京 100074；2.中国电子科技集团公司 第四十九研究所,黑龙江 哈尔滨 150001)



基于陶瓷基体铂薄膜电阻热式气体质量流量计设计

刘志亮1， 姜国光2

(1.北京动力机械研究所,北京 100074；2.中国电子科技集团公司 第四十九研究所,黑龙江 哈尔滨 150001)

摘要:提出了一种基于陶瓷基体铂薄膜电阻热式气体质量流量计的设计方法，分析了热式气体流量计的原理，制作了陶瓷铂电阻流量敏感元件，为降低加热功耗，提出了通孔方案。设计了恒温差控制电路和MSP430单片机处理电路，并制作出了实际样机。采用音速喷嘴标定装置对样机进行了标定和测试，该流量计的测量范围500～1 500 kg/h,精度±0.5 %，响应时间2 s，能够满足大工业气体管道流量的测量要求，具有广阔的应用前景。

关键词:热式； 气体流量计； 质量流量

0引言

热式气体质量流量计是一种常用的气体质量流量检测仪器，在航空航天、能源、医疗以及工业测量等领域都有着广泛的应用[1]。传统的气体质量流量计多通过测量流体温度、压力等信号，再换算成即时流量的方法进行测量，由于气体流动状态不稳定，测量的准确性会受到影响[2]。特别是工业环境中，环境的压力、温度变化剧烈，气体中含有的杂质较多，流量计的寿命和稳定性成为关键。热线式气体质量流量计[3]直接测量流体流量，测量值不因温度或压力的波动而失准，也不需要温度压力补偿，但其热线较为脆弱，在杂质较多的气流环境中容易断裂。……