谈蕊，钟小明

（1.河南省洛阳市电光设备研究所，洛阳　471003；2.中国人民解放军63880部队，洛阳　471003）



腔内倍频准连续紫外激光器的设计及实现

谈蕊1，钟小明2

（1.河南省洛阳市电光设备研究所，洛阳471003；2.中国人民解放军63880部队，洛阳471003）

摘要：准连续紫外激光器在精密材料微加工、紫外固化、光刻蚀等领域有广泛的应用，目前，国内高功率准连续紫外激光器的研制尚处于起步阶段，在激光功率稳定、光束质量等方面存在挑战。设计了一套基于腔内倍频的准连续紫外激光器，以808nm半导体泵浦Nd：YVO4晶体LBO紫外激光器，实现了波长为355nm的25～50kHz准连续紫外激光输出，激光器最高功率达3.48W，热效应得到了有效控制，光束质量较好。该研究结果将助于紫外高功率准连续激光器的商业化开发及应用。

关键词：准连续紫外激光器；高功率；腔内倍频

自20世纪90年代以来，大功率半导体二极管激光器的迅猛发展，推动了激光二极管泵浦的全固态激光器（Diode Pumped Solid State Laser，DPSSL）进步，是当今激光器领域的研究热点之一［1-3］。半导体激光二极管泵浦准连续紫外激光器具有光束质量好、功率稳定性好、可靠性高、使用方便、体积小等诸多优点，在精密材料微加工、紫外固化、光刻等领域应用广泛［4-6］，需求量日益增大，商业前景广阔，受到越来越多的关注。但是国内的准连续紫外激光器一般平均功率较小，且功率的稳定性以及光束质量还有待进一步的改进，缺乏可用于工业加工的稳定商用高功率紫外激光器，国内的苏州德龙激光有限……