李广金

摘 要：随着科学技术的日新月异，各种类型的传感器层出不穷，其中，高精度位移传感器是较为新颖的传感器，与普通传感器对比而言具有得天独厚的优势。高精度传感器的结构丰富，电极呈栅状存在，一旦电极存在平行移动以及覆盖面积变化，电容量则会随之变化，进而实现测量几何量的作用，现结合该原理对微加工技术的应用予以研究。

关键词：微加工技术；高精度；位移传感器

1 容栅式位移传感器的工作原理

容栅式位移传感器，根据结构不同可以具体分为圆形容栅位移传感器、直线型容栅位移传感器以及圆筒型容栅位移传感器。此次试验所采取的是直线型容栅位移传感器。直线型容栅位移传感器主要由两部分所组成，分别是静栅极板和动栅极板。每当在发射极相同位置安放相同的输入信号时，反射级同接收极、发射极同反射极会形成电场。反射极能够进行耦合作用，接收极输出信号会逐渐发生变化。此外，受到静栅极板大小的影响，如果进行较大位移测量，静栅极板不能全部覆盖于电子屏蔽下，进而受到外界因素影响，导致测量出现误差。

2 微加工制作高精度位移传感器流程

2.1 高精度位移传感器制作与微加工

高精度位移传感器在基底使用方面，需要采取玻璃衬底，也可以采用其他衬底。每个基底具有8N个导通盘，利用导线能够同另外基底的8N个发射极进行相连，保证发射极栅连通有效，需要注意的是，发射极栅导线宽度需要比连接导线宽度粗一些。……