刘一波,徐良(1.中国钢研科技集团有限公司,北京 100081;.北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司,北京 1000)



新兴工业材料加工用金刚石工具

刘一波1,2,徐良2
(1.中国钢研科技集团有限公司,北京 100081;
2.北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司,北京 102200)

摘 要:文章简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED和半导体等领域的应用,并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具,其中重点介绍了金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。

关键词:单晶硅;多晶硅;蓝宝石;砂轮;线锯

1　前言

我国金刚石工具的发展经历了地质勘探、石材和建材加工等传统的大发展阶段,其代表产品包括地质钻头、金刚石锯片、绳锯、框架锯等。随着技术的不断进步,以及国家对环保理念的不断普及,金刚石工具不断地进入新领域,如光伏半导体晶硅加工、LED领域的蓝宝石加工以及其他硬脆贵重材料的加工;新产品、新技术研发方面不断取得突破,新一代高附加值的金刚石工具被不断地开发出来,如高精度套料钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮、金刚石超薄切割片等,已经在新型工业材料加工中发挥着重要的作用。同时,相对于传统领域,新兴领域对金刚石工具提出了更高的要求,要求有更高的精度、更好的性能以及更为复杂的制造工艺,尽最大可能精细精密金刚石工具,对金刚石工具制造行业来说是一个挑战。……