申燕，贾艳飞，姚旭，张健，廉佳林（山西潞安太阳能科技有限责任公司，山西，046000）



太阳能硅料化学清洗研究进展

申燕，贾艳飞，姚旭，张健，廉佳林
（山西潞安太阳能科技有限责任公司，山西，046000）

摘 要：多晶硅作为太阳能光伏发电的主要材料，在太阳能光伏产业市场迅速发展的大背景下，对硅料清洁度的需求也逐步增加。化学清洗是目前硅料清洗的主要方法。本文综述了近年来硅料化学清洗的基本方法（RCA）及根据硅料的不同由RCA法发展出的其他化学清洗方法。

关键词：化学清洗；太阳能硅料；RCA 标准清洗法；其他清洗方法

当今世界，化石能源正在逐步接近枯竭，同时大量的开采和使用也严重破坏了人类的生存环境。因此，寻求新能源取代化石能源已成为历史必然。太阳能作为一种含量巨大、可无限开采的新型可利用能源，其开发利用的前景十分可观，由此附带衍生出的一系列太阳能光伏发电产业也是生机勃勃[1]。

与常规能源发电相比，光伏发电有以下优点：无需燃料消耗、不受地域限制、能量随处可得，可就地使用、容易储存，无污染、无噪声，可以无人值守，建设周期短，规模的设计自由度大，还可以方便地与建筑物相结合等[2]。

然而，硅作为太阳能光伏发电的主要材料，在太阳能光伏产业市场迅速发展的大背景下，对硅料清洁度的需求也逐步增加[3]。本文就近年来国内外太阳能硅料化学清洗现状进行综述。

1 污染物的分类

硅料的清洗，其目的是使硅料表面清洁无杂质污染，从而保证硅料纯度，保证整个电池生产中硅料的质量，避免污染物影响产品质量。……