王 岩，赵 克，张 玲，邢朝洋

（北京航天控制仪器研究所，北京100039）

高精度硅微谐振加速度计工程化设计与实现

王 岩，赵 克，张 玲，邢朝洋

（北京航天控制仪器研究所，北京100039）

硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力，成为硅微惯性传感器研制的热点之一。工程化设计是硅微谐振加速度计从原理样机向成熟产品转化过程中的关键步骤之一。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上，从工程实用化设计角度出发，提出了一种高精度硅微谐振加速度计工程化设计方法。分别从系统设计、结构设计、控制电路设计和测试与补偿技术等方面进行了分析和对比，讨论了误差来源与改进方法。测试表明，设计的高精度硅微谐振加速度计质量块基频大于3 kHz，谐振音叉中心频率约18 kHz，标度因数大于100 Hz/g，量程±40 g，死区小于0.67 mg，带宽大于200 Hz，振动整流误差0.344 mg，零位一次通电稳定性优于50 μg，测试结果基本满足工程化应用指标。

硅微谐振加速度计；工程化；设计；实现

谐振式硅微加速度计以其力敏感工作机理、高精度频率信号输出的理论优势，和采用半导体批量工艺加工的小体积与低成本潜力，逐渐成为硅微惯性器件的研制热点之一。国内外各主要惯性器件研制机构相继开展研制跟踪，并均取得较大进展[1-7]。国外以美国Honeywell公司SA500型硅微谐振加速度计为代表已经拥有工程实用化产品，国内从本世纪初开始研制，经过十余年发展已获得较高精度原理样机，目前处于原理样机到工程样机的转化阶段。……