谢 骥，谢祯芳，胡校兵，吴益华，朱志刚

(上海第二工业大学工学部环境与材料工程学院，上海 201209)

基于纳米WO3半导体材料的NO2气体传感器的研究进展

谢 骥，谢祯芳，胡校兵，吴益华，朱志刚

(上海第二工业大学工学部环境与材料工程学院，上海 201209)

WO3作为N型半导体材料，具有优良的气敏性能。目前人们对NO2气体的检测做了大量的研究，并一致认为WO3半导体材料在NO2气体检测方面，具有很大的应用潜力。本文综述了WO3纳米材料对NO2气体的气敏性能的研究进展，介绍了N型半导体WO3纳米材料的气敏传感机理，及通过对WO3纳米材料的形貌控制、掺杂及复合来提高气敏性能的研究进展情况。

纳米材料；气体传感器；氧化钨；NO2

0 引 言

电子厂的元器件的生产过程以及电子垃圾的焚烧过程会产生包括颗粒物、氮氧化物等有害物质。其中二氧化氮对人体的危害很大，即使暴露于二氧化氮的时间很短，肺功能也会受到损害，如果长时间暴露于二氧化氮，呼吸道感染的机会就会增加，而且可能导致肺部永久性器质性病变。儿童、老人和患呼吸系统疾病的人群受二氧化氮的影响更大，因此，卫生部在《职业病危害因素分类目录》中将其规定为化学类的职业病危害因素。由此可见，无论是在作业场所中还是在日常生活中，对NO2进行检测都是十分必要的，气体传感器就是一个很好的感知环境中某种气体及其浓度变化的一种装置或器件，它能将与气体种类和浓度等有关信息转换成电信号，从而可以进行检测、监控、分析和报警。……