赵建忠



InSb焦平面探测器的发展现状与趋势

赵建忠

（华北光电技术研究所，北京 100015）

本文通过对红外技术发展历程的回顾，简要介绍了锑化铟材料的一些基本特性，通过对国外主要锑化铟材料、探测器研制生产单位的产品、性能指标的分析，归纳出锑化铟材料、探测器的主要技术路线，并对未来锑化铟材料、探测器的发展趋势进行了分析。

锑化铟；焦平面探测器；扩散；注入；数字化

0 引言

自19世纪初期，英国物理学家赫胥尔发现红外线以来，红外探测器经历了多年的缓慢发展；在二战后期受战争需求和技术发展的推动，红外探测器的研究逐渐开始受到人们的重视；并首先在铅盐类探测器如硫化铅（PbS）、硒化铅（PbSe）、碲硒铅（PbSeTe）获得突破，研制出多款可实用化的相关产品，推动了武器装备的发展，如美国著名的响尾蛇空空导弹，采用PbS探测器首次实现了导弹的自主跟踪打击。

随着需求的推动和研究的深入，在20世纪50年代中后期锑化铟（InSb）材料问世，很快就受到人们的重视，各国研究机构相继展开深入的研究，发展了多种规格的探测器产品，性能大幅提升，至60年代中后期逐渐替代了PbS探测器，如响尾蛇空空导弹开始采用InSb探测器制导，导弹性能获得极大的改进，并在多种武器系统中广泛应用，成为3～5mm中波红外波段应用中一种主要探测器，西方发达国家如美国、英国、法国、以色列、俄罗斯都建立相应的研究生产机构。图1为红外材料及探测器的发展历程。

InSb红外探测器的发展也逐渐由20世纪六七十年代单元、少元、多元线列的一代器件向面阵凝视、超大面阵方向发展，90年代末至本世纪初，InSb焦平面探测器技术基本成熟，进入大规模应用阶段。……