胡 秋 舒 强 汪俊文 王宝瑞

(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，超精密加工技术重点实验室 四川 绵阳 621900)

主轴部件套类零件高精度立式磨床研制*

胡 秋 舒 强 汪俊文 王宝瑞

(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，超精密加工技术重点实验室 四川 绵阳 621900)

在分析套类工件结构特点和技术要求基础上，以精度为目标，开展了立式复合磨削工艺路线设计及与之相适应的精密立式磨床研制。所研制的磨床其动态回转精度优于0.3 μm的高刚度液体静压直驱式静压回转工作台和运动直线度优于0.2 μm/200 mm的高刚度液体静压导轨很好地保证工件磨削圆度和母线直线度。研制的机床实现了内孔磨削圆度0.7 μm，外圆磨削圆度优于0.45 μm的磨削效果，能满足各种高精度主轴部件套类零件高精度磨削。

主轴部件；套类工件；立式磨床；液体静压回转工作台；液体静压导轨；控制软件

超精密主轴是各种高性能数控机床、超精密加工机床与高端仪器的关键共性部件之一。精密加工技术是精密主轴部件核心技术之一，主轴部件关键零部件加工技术主要包括加工环境、加工装备及加工工艺等内容，而加工装备则是精密超精密主轴零部件精密加工的重要组件部分之一。

1 主轴部件套类零件精密磨削工艺路线设计

套类零件在精密超精密主轴、转台中占有重要地位。图1为一典型的加工中心高速电主轴,其前、后轴承座、定子冷却水套、壳体等属于典型的套类零件，特别是前、后轴承座、壳体是影响主轴精度和可靠性的关键零部件；……