尹周平，吴志刚，黄永安

(华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室 柔性电子研究中心，湖北 武汉430074)



柔性微流体电子：材料、工艺与器件

尹周平，吴志刚，黄永安

(华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室 柔性电子研究中心，湖北 武汉430074)

摘要：微流体技术是指在微观尺寸下控制、操作和检测复杂流体的新兴技术，通过与柔性电子技术结合，产生了全新的柔性微流体电子技术，有望在可变形电极、可穿戴电子、可延展柔性天线等领域发挥重要作用。目前，液态金属由于其常温液态、大表面张力等特点，应用于柔性微流体电子技术领域时，在材料、工艺和设备等方面面临诸多挑战。重点讨论液态金属的组分和属性、微流体制造工艺与特点，以及柔性微流体电子技术的新兴应用。最后展望了柔性微流体电子技术需研究并解决的关键科学技术问题。

关键词：柔性电子；液态金属；微流体；无线传感器；液体天线

1前言

柔性电子具有便携性、透明、轻质、可伸展/弯曲、以及易于快速大面积打印等特点，产生了许多新的应用。柔性电子是一个新兴开放的研究领域，随着学科交叉的加深，新的应用不断出现，在新型电子材料、微纳制造工艺和设备等方面不断出现新的研究问题。微流体技术是指在微观尺寸下控制、操作和检测复杂流体的技术，利用流体随流道的任意变形能力，为柔性电子提供了全新的解决方案，但其材料属性、制造工艺和新兴应用都面临挑战与机遇。……