张春伟，田 新，3

（1.江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏徐州 221004；2.江苏协鑫特种材料科技有限公司，江苏徐州 221004；3.江苏鑫华半导体材料科技有限公司，江苏徐州 221004）

多晶硅生产过程中硅渣浆的处理

张春伟1，2，田 新1，2，3

（1.江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏徐州 221004；2.江苏协鑫特种材料科技有限公司，江苏徐州 221004；3.江苏鑫华半导体材料科技有限公司，江苏徐州 221004）

首先探讨了多晶硅生产过程中硅浆渣的处理难点，并对当前国内外多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺进行研究，最后展望了硅浆渣处理工艺的发展方向，为多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺的设计提供资料参考。

多晶硅；生产过程；硅浆渣；处理研究

在政策和市场需求的推动下，我国太阳能产业发展迅猛。多晶硅作为太阳能产业发展的重要工业原料，其市场需求量逐渐增加。多晶硅的生产会产生很多高毒物质，如果硅浆渣的处理达不到环保标准，将会给环境带来巨大污染。随着市场对多晶硅产品需求量的不断加大，很多资金投入到多晶硅的生产领域。但受技术、经验和生产标准的影响，多晶硅的硅浆渣处理一直达不到环保标准，这极大的阻碍了我国太阳能产业的发展。近年来，在科研单位和生产企业的努力下，我国多晶硅生产过程中硅浆渣处理工艺和技术进步显著，但很多技术和方法由于成本造价较高，难以实现工业应用。如何进一步推动硅浆渣处理工艺和技术的发展，新的理念、方法和技术转化为生产力，已经成为摆在多晶硅生产制造企业面前亟需解决的问题。……