缪灿锋，翟荣安，储成智，汝长海,

（1.江苏省先进机器人技术重点实验室，苏州大学，江苏 苏州 215021；2.苏州纳米科学技术协同创新中心，苏州大学，江苏 苏州 215123）

【工艺开发】

基于超声喷涂法的柔性印刷电路制备

缪灿锋1，翟荣安1，储成智1，汝长海1,2,*

（1.江苏省先进机器人技术重点实验室，苏州大学，江苏 苏州 215021；2.苏州纳米科学技术协同创新中心，苏州大学，江苏 苏州 215123）

介绍了一种基于超声喷涂的电路印刷方法，适用于各种柔性材质的基体，可以更高效、更环保地完成柔性印刷电路(FPC)的制造。其主要思想是：纳米银导电油墨通过超声喷头雾化，进而喷涂在覆盖有金属掩膜版的聚酰亚胺(PI)膜基体上，低温烧结(125 °C × 20 min)之后就得到柔性电路。测试结果表明，图案化的导电线路(宽度为500 μm)经过多次弯曲后仍能保持良好的导电性，其表面方阻随喷涂层数的增多而稳定地减小，8层涂覆所得线路的方阻为(21 ± 2) mΩ/sq。扫描电镜观察表明，导电线路平整光滑，毛边误差在50 μm以内。

电路；柔性印刷；聚酰亚胺薄膜；纳米银；导电油墨；超声喷涂；方阻

First-author’s address:Jiangsu Provincial Key Laboratory of Advanced Robotics, Soochow University, Suzhou 215021, China

在信息时代，人们每天都会通过各种电子产品进行数据的传输、处理，作为承载媒介的印刷电路板(PCB)的需求量也与日俱增[1-3]。柔性电路板(FPC)拥有配线密度高、轻薄、弯折性好等特点，因而在印刷电路板中占据的比例逐年提高[4]。FPC通常是指以柔性塑料薄膜为基材制成的印刷电路板，它能够直接应用于三维的工作环境中，加快生物医疗、人-机信息交换等领域的发展，也进一步拓宽了目前电子产品的使用领域[5-7]。……