胡晓霞，黄 睿，艾 博

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京100176)

全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究

胡晓霞，黄 睿，艾 博

(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京100176)

提出了一种硅片传输系统的预对准算法，根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性，计算出圆心坐标和切边位置，实现硅片的预对准。经过实验验证，该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。

探针台；传输系统；预对准

在全自动探针台硅片传输控制系统中，硅片的预对准方法是需要解决的核心问题，这就涉及到硅片如何找圆心、切边如何定位以及偏心角、偏心距的计算方法等一系列算法研究。本文首先介绍了全自动探针台传输控制系统的构成，以CCD作为传感器进行硅片的边缘检测，根据传感器采样的电压值变化分析计算出圆心位置。然后，根据全自动探针台可伸缩的机械手臂测量的原始数据计算出偏心角以及垂直方向上的偏心距，并通过手臂伸缩的机械特性，将硅片移至预对准台中心位置，通过粗、细采样边缘数据准确确定硅片切边。

1 全自动探针台传输控制系统构成

全自动探针台传输控制系统由机械手传输和预对准台旋转两部分组成。其中：

（1）机械手是传输部分的核心机构。负责将硅片从硅片盒输送到预对准台，并将预对准后的硅片按要求送至相应的承片台，测试完成后再由承片台放回指定的片盒内，并负责移动硅片到圆心位置。……