王典泽

（山西省计量科学研究院，山西 太原 030002）

浅析阿贝误差对激光干涉仪测量测长机示值误差时的影响

王典泽

（山西省计量科学研究院，山西 太原 030002）

随着科技的不断发展，精密仪器的测量工具也在不断的发展，测量误差的不断减小是保证测量准确度提高的重要条件。测长机是用于测量大尺寸量块以及多种工件的光学长度测量工具，但是测长机在测量时，由于测量的轨道直线度不好，将会产生较大的阿贝误差。激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量系统，其特点就是可以实现非接触测量，配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作。本文主要是分析阿贝误差是如何影响激光干涉仪测量测长机时的示值误差。

激光干涉仪；测长机；阿贝误差

不符合阿贝原则的测量仪器就是在测量时导轨直线度会产生比较大的阿贝误差。其中测长机按照其结构来看就属于不符合阿贝原则的仪器，但可以通过特殊的光学系统补偿阿贝误差，这样测量结果将不受影响。激光干涉仪是现代科学技术发展下研究出来的仪器，利用激光干涉仪的特点就是可以通过激光不用接触测量物本身而实现测量。利用激光干涉仪来测量测长机测量的误差值，其中对于阿贝误差的影响值得研究和探讨。

1 影响测量机精确度的可能因素

能够影响仪器测量准确度因素有很多，其中就包括几何误差、动态误差和热变形误差等。……