张智娟，邓朝昀

（华北电力大学 电气与电子工程学院，河北 保定071003）

LLC负载超高频谐振逆变器并联特性研究*

张智娟，邓朝昀

（华北电力大学 电气与电子工程学院，河北 保定071003）

针对LLC负载1 MHz超高频感应加热电压型谐振逆变器并联运行中，串联不同电感时逆变器的工作特性进行了理论分析，探究逆变器换流角度以及LLC品质因数的变化，对逆变器输出电压存在差异时换流角度的变化进行了研究。得出1 MHz的电压型谐振逆变器在存在电感差异、电压差异时换流角度是较小的，可以保证逆变器工作在小感性换流状态。最后通过MATLAB/Simulink仿真实验验证了理论分析的正确性，并对仿真结果进行了综合分析。

LLC负载；超高频；逆变器并联；换流角度

0 引言

兆赫级大容量的超高频感应加热电源在新兴的晶体生长设备制造业中具有独特的优点和良好的应用前景，由于目前适用于超高频领域的全控型器件单桥不可能并联器件过多，目前有效提高容量的方法是通过全桥模块的并联来提高整个装置的容量[1]。

近年来LLC负载的电压型谐振逆变器已成为研究人员的主要研究方向，但在分析电压型谐振逆变器并联特性时，一般将各相逆变器的串联电感设计为相等。文献[2-3]采用相移控制多个相同LLC负载并联来提高输出功率。文献[4-5]采用全数字控制两个相同逆变模块制作高频感应加热电源，简单分析了串联电感不同时的逆变模块输出电流与串联电感成反比，仅给出117 kHz下的实验波形。……