李 响，梁中翥，包兴臻，梁静秋

(1.中国电子科技集团公司第四十七研究所，辽宁 沈阳110032；2.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春130033)

微型LED阵列器件的发展及应用

李 响1，梁中翥2，包兴臻2，梁静秋2

(1.中国电子科技集团公司第四十七研究所，辽宁 沈阳110032；2.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春130033)

LED型微阵列器件作为一种全固态的主动发光器件，拥有工作电压低、发光效率较高、响应速度快、性能稳定可靠、工作温度范围宽等优点。在同一芯片上集成LED阵列技术可以很好地满足自发光微显示、照明及通信等应用需求。目前，国内外在LED微阵列器件方面的研究进展十分迅速。回顾了LED微阵列器件的国内外研究进展及其潜在应用，并对LED微阵列器件未来的发展方向及应用领域作了展望。

LED；微阵列器件；微显示；MEMS

0 引言

LED作为一种主动的自发光器件，从诞生至今已经经历了半个多世纪，由于功耗小、工作电压低、发光亮度高、工作寿命长、性能稳定、可在极端的环境下工作而性能衰减很小等特点使之得到了非常广泛的应用。随着LED技术的发展以及各个行业对于微型化集成化的应用要求越来越高，微型LED阵列器件应运而生。该器件是一种结合了 LED的光电特性和微光机电系统(Micro Optical Electric-Mechanical System，MOEMS)工艺技术的新型器件，它结合了二者独有的优点，将LED的研究及应用推广到一个全新的、更加广泛的新颖领域[1]。

微型LED阵列器件是在外延生长的同一发光二极管芯片上集成高密度微小尺寸的二维阵列，或者在同一外延基片材料上进行高密度集成排列的微小尺寸的高亮度发光二极管管芯的二维阵列，厚度仅维持在几百微米。……