孙祥

摘要 ：微晶玻璃凭借其优越的综合性能将成为下一代硬盘基板材料的最佳选择。然而微晶玻璃属于硬脆材料，用传统的加工方法很难获得高质量的超光滑表面。针对微晶玻璃超精密加工中的困难，本文探索用亲水性固结磨料研磨抛光垫（FAP）对其进行研磨抛光的新工艺，并通过实验来研究其加工后所获得的表面质量。

关键词 ：固结磨料抛光 微晶玻璃 表面粗糙度

引言

微晶玻璃是一种很好的结构材料，具有良好的机械性能和较高温度下的化学稳定性，因而引起人们的广泛注意。近年来，随着计算机技术的飞速发展对计算机的外部存储器，作为硬盘基板新的材料的微晶玻璃在计算机发展中越来受到青睐。由于微晶玻璃微观组成中的结晶相与玻璃相的结构、化学成分都不相同，显微硬度也非常高，传统的加工方法难以加工出亚纳米级光滑表面，因而化学机械抛光（CMP）成为唯一有效用于加工微晶玻璃的技术。因此，探索采用固结磨料抛光垫研磨抛光微晶玻璃的工艺方法，可以为微晶玻璃超精密加工工艺的制订提供依据。

一、微晶玻璃加工方法

目前国内外主要是根据微晶玻璃特殊的微观组成结构和性能特点，对其表面进行精密和超精密的磨削加工，从而达到纳米级的表面质量和平面度。中科院长春光机所韩荣久等人的研究表明，微晶玻璃的晶粒尺寸大约为30～40 nm。因此，要实现其原子量级的去除，获得超光滑表面，必须采用纳米级的抛光磨料。……