王华

摘要：洁净空调系统是电子工业洁净厂房能源消耗的重要组成部分，洁净空调系统的运行能耗是构成电子工业洁净厂房生产产品成本的主要内容之一。随着我国电子工业洁净厂房建设规模的迅速发展，从电子工业洁净厂房设计上采取有力措施来降低系统能耗、节约能源，已到了刻不容缓的地步。结合设计工作经历中总结的心得，对如何制定电子工业洁净厂房洁净空调系统节能措施、提高系统能效进行分析。

关键词：能耗；节能；措施

随着科学技术的发展，电子产品生产的规模化和高可靠性能等要求，常需采用连续生产、多工序集成的大型精密生产设备，因此电子工业厂房通常为大面積、大空间厂房。电子工业厂房的工艺常要求洁净度高，温湿度波动小，各类工艺排风量较大，所以电子工业厂房通常需配置送风量和新风量均较大的洁净空调系统，用于处理送风和新风的冷量、热量等所需能量也同样很大，且电子工业厂房一般为全年全天昼夜运行，因此电子工业洁净厂房洁净空调系统（以下简称“洁净空调系统”）的能耗总量巨大，成为构成电子工业洁净厂房生产产品成本的主要内容之一。

如何有效降低洁净空调系统能耗，节约洁净厂房运行成本，已成为行业内特别关注和重视的问题。鉴于此，结合之前设计和接触的洁净空调系统经验，浅析洁净空调系统的节能措施。

一、合理规划洁净室工艺平面

在洁净……