任娜，王伟

（河北工业大学电子信息工程学院，天津 300401）

ITO电极修饰对PMMA绝缘层性能的影响

任娜，王伟

（河北工业大学电子信息工程学院，天津 300401）

使用苯膦酸分子对ITO基底进行表面修饰，接触角测量表明修饰后ITO表面疏水性提高，修饰前ITO对水的接触角为23.25°，修饰1 h、2 h、3h后接触角分别为50.75°、71.50°和73.25°，原子力显微镜测试表明在修饰时间为2 h时达到最小表面粗糙度2.10 nm．然后通过旋涂的方法在ITO玻璃衬底上制备PMMA绝缘层，ITO修饰之后可以得到更加均匀致密、粗糙度更小的PMMA薄膜，粗糙度达到0.481 nm．最后真空蒸镀Al电极，得到ITO/PMMA/Al电容结构，利用AgilentB1500A半导体参数测试仪，通过C-V和I-V方法的检测它的电学特性．实验结果表明，使用苯膦酸修饰ITO表面后可以得到粗糙度更小，漏电流更小，稳定性更佳的PMMA绝缘层．

ITO；修饰；PMMA；绝缘层；表面粗糙度；电学特性

0 引言

氧化铟锡（ITO）以良好的电学传导性、光学透明性被广泛应用于器件制备中，玻璃衬底良好的透光性与ITO成熟的制备工艺使得ITO玻璃在器件制备中得到研究人员的青睐．随着对有机器件研究的深入，ITO电极与有机材料的结合在有机太阳能电池[1,2]、有机发光二极管[3,4]等方面得到广泛的应用与研究．众所周知，绝缘层的性能是影响有机器件的关键所在，而绝缘层的性能与绝缘材料密切相关外，同时受到电极表面性质的制约．ITO表面羟基的存在使得其表面具有亲水性[5]，影响到绝缘层的分子排列与表面形貌，进而对绝缘层的性能产生重要影响．羟基可以与某些有机酸发生……